半導體工業的廢氣如何處理

　　半導體指的是在常溫下導電性能介于導體與***緣體之間的一種材料，主要應用于集成電路、消費電子、通信系統、光伏發電、照明、***功率電源轉換等***域，在半導體工業加工的過程中將會有部分的氣體排出，那半導體工業的廢氣有毒嗎，怎么處理***?

 

　　半導體工業在加工的過程中會使用到光刻膠、蝕刻液、清洗劑、顯影劑等溶劑，而這些溶劑是含有***量的有機物成分，排放出來的廢氣含有HCl、氨、HF等危險污染物，而主要處理的是具有揮發性的VOCs。

 

　　溫馨提示：VOCs污染物為有機化合物，在濃度較高且有火花或靜電情況下，極易發生閃爆現象。

 

　　半導體在制造過程中一般的污染源包括顆粒污染物、金屬離子和化學物質等，而這些都是屬于有害的污染物。

 

　　半導體廢氣處理方法根據工業廢氣成分進行廢氣處理設備的選擇：

 

　　沸石轉輪吸附濃縮裝置：主要用于有機廢氣的治理， ***別適合于***風量，低濃度場合;

 

　　噴淋塔：對于含有酸性/堿性物質的廢氣 ，半導體廠封閉車間***都采用***型臥式洗滌塔進行廢氣處理。

 

　　TO直燃爐(催化燃燒裝置)：對***風量、低濃度的VOCs廢氣，TO直燃爐一般會搭配沸石轉輪使用。